Picometer-scale displacement measurement using heterodyne interferometry
Tác giả: Aketagawa, Masato
Nhà xuất bản: Đại học Quốc Gia Hà Nội
Năm xuất bản: 2021
Loại tài liệu: Conference Paper
Mô tả vật lý: 10 p.
Nguồn gốc: https://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/141508
Ngôn ngữ: Tiếng Anh
Chủ đề: Heterodyne interferometer; Pm-order displacement; Phase-locked loop; Piezoelectric